Сборники тезисов • Информационные и интеллектуальные системы и технологии • Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2015.
Исследование люминесцентных свойств структур Si/SiO2 с имплантированным кремнием в окисле
УДК: 539.534.9:535.376
Аннотация:
Исследовано влияние ионной имплантации кремния и последующего отжига на катодолюминесценцию пленки двуокиси кремния толщиной 65 нм. Изучены спектры люминесценции, определены их источники, а также их состояние после отжига.