Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 1 • ИНФОРМАЦИОННАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ, ПРОЕКТИРОВАНИЕ, ТЕХНОЛОГИЯ ЭЛЕМЕНТОВ И УЗЛОВ КОМПЬЮТЕРНЫХ СИСТЕМ
ЛАБОРАТОРНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ ВОЛЬТ-ЕМКОСТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК СТРУКТУР SI/SIO2 НЕРАЗРУШАЮЩИМ МЕТОДОМ
УДК: 53.083.98
Аннотация:
Целью работы сатла рарзаботка лабораторной установки для измерения
высокочастотных вольт-емкостных характеристик структур Si/SiO2 неразрушающим
методом.