Сборники тезисов • Фотоника, наноматериалы и оптотехника • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2018.
Пример заполнения выходных данных:
Дюкин Р.В., Кузьмин Е.В., Шандыбина Г.Д. Исследование плазмонного резонанса в многослойных структурах в режиме реального времени // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание [Электронный ресурс]. - Режим доступа: ссылка на страницу с тезисом, своб.
Исследование плазмонного резонанса в многослойных структурах в режиме реального времени
УДК: 681.33
Аннотация:
На сегодняшний день, технология напыления покрытий широко востребована как при производстве микроэлектронных компонентов, так и в оптике, при создании оптических элементов. Важным этапом нанесения покрытий является контроль толщины осаждаемой поверхности, обычно реализуемый за счёт датчиков-свидетелей двух типов, фотометрического и кварцевого. В основе работы фотометрических датчиков лежит измерение отражающей способности образца при нанесении покрытия. Такой способ является весьма простым в реализации, но обладает малой точностью и не подходит для нанесения тонких или многослойных покрытий. Кварцевые датчики, основаны на измерении частоты колебаний кремниевой пластины, изменяющейся при осаждении напыляемого вещества, что позволяет с высокой точностью определять толщины (точность ±0.1 нм) но не учитывает химические процессы, протекающие в вакуумной камере и влияющие на оптическую толщину наносимого покрытия. Целью настоящей работы является исследование возможности регистрация оптических толщин тонких плёнок методом поверхностного плазмонного резонанса в режиме реального времени.