Сборники тезисов • Информационные и интеллектуальные системы и технологии • Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2018.
Пример заполнения выходных данных:
Большаков В.О., Жарова Ю.А. Преимущества и недостатки исследования физических свойств тонких пленок с помощью эллипсометрии // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание [Электронный ресурс]. - Режим доступа: ссылка на страницу с тезисом, своб.
Преимущества и недостатки исследования физических свойств тонких пленок с помощью эллипсометрии
УДК: 621.315.592
Аннотация:
Эллипсометрия – это оптический метод изучения поверхностей и объёмных сред, основанный на анализе амплитудных и фазовых изменений световой волны при взаимодействии с исследуемым объектом. При эллипсометрии мы получаем показатели Ψ и Δ, исходя из которых решается обратная задача эллипсометрии. Ψ и Δ могут различаться при изменении угла падения луча. Благодаря этим параметрам можно определять физические свойства объекта.