Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2017.
Пример заполнения выходных данных:
Агеев Э.И., Поторочин Д.В., Агеев Э.И. Исследование эволюции кремниевых полиморфов при многоимпульсном фемтосекундном лазерном воздействии // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание [Электронный ресурс]. - Режим доступа: ссылка на страницу с тезисом, своб.
Исследование эволюции кремниевых полиморфов при многоимпульсном фемтосекундном лазерном воздействии
УДК: 621.373.826
Аннотация:
В работе исследованы морфологические особенности кремниевой поверхности, подвергнутой фемтосекундной лазерной абляции с различной экспозицией, а также кристаллическая структура приповерхностных слоев, внутри которых на субмикронных глубинах были обнаружены нанокристаллы полиморфных модификаций кремния Si-III и Si-XII, встроенные в наноразмерные аморфизированные области. Изменение амплитуд, спектральных позиций, ширин и площадей пиков в спектре комбинационного рассеяния совместно с постепенно развивающейся топографией поверхности дают большой объем информации о переходных абляционных и релаксационных процессах, происходящих при высоких давлениях и температурах в приповерхностных слоях во время многогоимпульсного микро- и наноструктурировании кремния.