Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2017.
Пример заполнения выходных данных:
Жуган И.А., Кузьмин Е.В., Кулагин В.С., Шандыбина Г.Д. Волновой механизм эволюции микрорельефа поверхности кремния при многоимпульсном фемтосекундном лазерном облучении // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание [Электронный ресурс]. - Режим доступа: ссылка на страницу с тезисом, своб.
Волновой механизм эволюции микрорельефа поверхности кремния при многоимпульсном фемтосекундном лазерном облучении
УДК: 621.373.535
Аннотация:
В работе рассмотрены результаты численного исследования процесса многоимпульсного фемтосекундного фотовозбуждения и нагрева монокристаллического кремния, дополненные результатами экспериментального анализа поверхностного плазмонного резонанса на многослойных объектах. Показано, что при частотах следования импульсов 1-1000 Гц накопление структурных изменений поверхности, происходящих между импульсами, влияет на пространственно-временное распределение электронной плазмы в приповерхностном слое полупроводника при облучении последующим импульсом. Проведенное исследование позволило объяснить экспериментальную зависимость эволюции лазероиндуцируемых периодических микроструктур на поверхности кремния от дозы облучения: идентичность структур при изменении либо светового потока, либо числа фемтосекундных импульсов. Обсуждается возможный механизм двумерного периодического микроструктурирования поверхности кремния фемтосекундными лазерными импульсами.