Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2017.
Пример заполнения выходных данных:
Петренко А.А., Агеев Э.И. Исследование влияния абляции ультракороткими лазерными импульсами на результирующий фазовый состав кремниевых подложек // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание [Электронный ресурс]. - Режим доступа: ссылка на страницу с тезисом, своб.
Исследование влияния абляции ультракороткими лазерными импульсами на результирующий фазовый состав кремниевых подложек
УДК: 621.373.826
Аннотация:
В работе выполнено исследование эволюции топографии поверхности кремниевых образцов, подвергнутых фемтосекундной лазерной абляции, а также изменения кристаллической структуры приповерхностных слоёв. Исследована природа переходных абляционных и релаксационных процессов, происходящих в приповерхностных слоях кремниевых подложек при многоимпульсном фемтосекундном воздействии.