Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ПРОБЛЕМЫ МЕХАНИКИ И ТОЧНОСТИ В ПРИБОРОСТРОЕНИИ
БЕСКОНТАКТНЫЕ МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ КАЧЕСТВА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ НА МИКРО- И НАНОУРОВНЯХ
УДК: 681.2.083
Аннотация:
Контактное измерение является на сегодняшний день самым распространенным
способом оценки меры шероховатости поверхности на микро- и наноуровне. При этом
отрицательной стороной данного метода является повреждение и деформация измеряемой
поверхности после прохода по ней иглы профилометра. В связи с этим, перспективным
методом оценки являются бесконтактные методы.