Сборники тезисов • Фотоника, наноматериалы и оптотехника • Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2017.
Пример заполнения выходных данных:
Якуненков Р.Е., Платонов В.И. Разработка и исследование термохимических микросенсоров с применением МЭМС для газовой хроматографии // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание [Электронный ресурс]. - Режим доступа: ссылка на страницу с тезисом, своб.
Разработка и исследование термохимических микросенсоров с применением МЭМС для газовой хроматографии
УДК: 54.07
Аннотация:
В работе представлен процесс разработки газовых микросенсоров с помощью магнетронного напыления нанослоев хрома и меди на стеклянную подложку, с последующим формированием резистивного элемента методом УФ-литографии и жидкостного травления. Определены зависимости сопротивления чувствительного элемента от толщины наносимых нанослоев хрома и от температуры отжига в кислородной атмосфере. Также разработана технология формирования каталитического слоя платины на поверхности планарного резистора. Представлены инерционность и чувствительность разработанного сенсора в сравнении с пламенно-ионизационным детектором и детектором по теплопроводности для газовой хроматографии.