Сборники тезисов • Информационные и интеллектуальные системы и технологии • Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2017.
Пример заполнения выходных данных:
Большаков В.О., Тампер А.., Скворцов А.М. Определение оптимальных рабочих режимов фемтосекундного лазера для микроструктурирования системы SiO2/Si // Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание [Электронный ресурс]. - Режим доступа: ссылка на страницу с тезисом, своб.
Определение оптимальных рабочих режимов фемтосекундного лазера для микроструктурирования системы SiO2/Si
УДК: 621.315.592
Аннотация:
В результате исследования определены предельные режимы, при которых наблюдается видимое разрушение системы с точки зрения абляции кремния на поверхности окисленной кремниевой пластины. Также определены зависимости между характером получаемых микроструктур и толщиной слоя диоксида кремния исследуемых образцов.