Сборники тезисов • Информационные и интеллектуальные системы и технологии • Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Методы формирования нанокомпозитов на основе Sinc-SiO2-Simonocr
УДК: 621.315.592
Аннотация:
Нанокомпозитные материалы на основе системы SiO2/Si с включенными в нее нанокристаллами кремния могут использоваться при производстве большого количества микро- и наноэлектронных изделий. В работе рассмотрены методы формирования таких материалов, их преимущества и недостатки. Также упомянуты перспективы их дальнейшего развития. Отмечен относительно новый метод формирования нанокомпозитов кремния с нанокристаллами кремния с использованием лазерной абляции на воздухе.