Сборники тезисов • Информационные и интеллектуальные системы и технологии • Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Основные требования к материалам для акустоэлектронных устройств, построенных на тонкоплёночных пьезоэлектрических преобразователях
УДК: 534.8.081.7
Аннотация:
Рассмотрены основные требования к материалам изготовления тонкопленочных пьезоэлектрических преобразователей для устройств работающих на объемных акустических волнах. Исследовано влияние ключевых параметров, а именно величины скорости распространения волны в объеме пленки и коэффициента электромеханической связи различных модификаций тонкопленочных пьезоэлектриков на выходные характеристики акустоэлектронных компонентов. Проведен анализ методик синтеза пьезо-пленок и выявлены факторы, влияющие на показатели конечных устройств.