Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОСТРУКТУРЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ
ПОЛУЧЕНИЕ МОД ШЕПЧУЩЕЙ ГАЛЕРЕИ В СФЕРИЧЕСКИХ МИКРОРЕЗОНАТОРАХ, ПОКРЫТЫХ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОЙ ОБОЛОЧКОЙ A-SI:C:H
УДК: 535.34+535.37
Аннотация:
Объектом исследования были микрорезонаторы (МР), состоящие из сферических
частиц аморфного диоксида кремния диаметром 2,0 и 3,5 мкм, покрытых люминесцирующей
оболочкой аморфного гидрогенизированного карбида кремния (a-Si:C:H) толщиной 60 нм.
Приготовление МР из аморфного диоксида с оболочкой a-Si:C:H является перспективным
для разработки и создания чувствительных оптических биосенсоров и других
биомедицинских приложений. Данные возможности реализуются за счет использования
аморфного гидрогенизированного карбида кремния (a-Si:C:H), обладающего большой
шириной запрещенной зоны и люминесценцией при комнатной температуре. Используя при
изготовлении пленок метод плазмохимического газофазного осаждения (ПХГФО) возможно
контролировать оптические свойства и положение максимума линии фотолюминесценции a-
Si:C:H в спектральной области 600–900 нм.