Сборники тезисов • Информационные и интеллектуальные системы и технологии • Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Исследование вольт-фарадных характеристик структур Si/SiO2 с имплантированным кремнием в окисле
УДК: 539.534.9
Аннотация:
Исследование электрофизических свойств тонких пленок двуокиси кремния с частицами кремния, сформированными методом ионного легирования с последующим отжигом. Исследования проводились методом высокочастотных вольт-фарадных характеристик.