Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Исследование радиального распределения толщины слоя оксида при лазерном окислении тонких пленок титана в субмикронном диапазоне размеров
УДК: 544.032.65, 544.537
Аннотация:
В работе приведен теоретический расчет радиального распределения толщины слоя оксида и температуры пленки в процессе воздействия лазерного излучения. При решении задачи использованы известные особенности лазерного нагревания тонких пленок титана с образованием прозрачного оксида при субмикронных размерах облученной области: квазистационарный режим нагревания и преобладающее влияние теплоотвода в подложку над радиальным теплоотводом в пленке на формирование температурного поля пленки. Получены зависимости размера получаемого изображения в пленке от размера облученной области и основных параметров режима воздействия.