Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Локальное лазерное окисление тонких металлических пленок, образующих прозрачные оксиды, в многоимпульсном режиме
УДК: 544.032.65, 544.537
Аннотация:
В настоящей работе теоретически и экспериментально исследовано локальное лазерное окисление тонких пленок титана, образующих прозрачные оксиды. Рассмотрена температурная динамика пленки, облучаемой лазером в импульсно-частотном режиме.