Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Сравнительный вклад рекомбинационных процессов в накопительный лазерный нагрев при многоимпульсной фемтосекундной обработке кремния
УДК: 621.373.535
Аннотация:
Представлены результаты качественных оценок влияния рекомбинационных процессов на накопительный нагрев поверхности кремния при воздействии фемтосекундными лазерными импульсами в режимах микроструктурирования поверхности. Показано взаимовлияние рекомбинационных процессов обоих типов.