Сборники тезисов • Фотоника, наноматериалы и оптотехника • Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Исследование микро- и наноструктурирования кремния с помощью каталитического (металл-стимулированного) процесса
УДК: 621.315.592
Аннотация:
Работа посвящена исследованиям условий каталитического травления и получения с его помощью кремниевых наноструктур, изучению их свойств и параметров. Основное содержание исследования составляет анализ использования кремния с разным уровнем легирования и разной кристаллографической ориентацией, установление зависимости морфологии структур от условий травления, создание упорядоченных кремниевых структур как с помощью бестокового каталитического травления, так и с приложением тока. В итоге констатируется, что каталитическое травление может применяться в качестве альтернативного метода для создания пористых структур на кремнии p- и n-типов проводимости.