Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Микроструктурирование тонких металлических пленок в схеме многолучевой интерференции лазерных пучков
УДК: 544.537:535.417:53.06
Аннотация:
В работе представлена обработка тонких металлических пленок в схеме многолучевой интерференции лазерных пучков с использованием дифракционных оптических элементов, изготовленных по технологии лазерно-индуцированной обработки микроплазмой.