Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
ИССЛЕДОВАНИЕ ЦИФРОВОЙ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ С РАЗЛИЧНЫМИ ПАРАМЕТРАМИ В СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ
УДК: 681.2-5
Аннотация:
Краткое вступление, постановка задачи. Сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ)
на сегодняшний день является базовым инструментом нанотехнологий. Он позволяет
визуализировать поверхность и изучать широкий ряд характеристик изучаемого образца.
Основным недостатком подобных систем является поточечное сканирование с применением
цепей обратной связи (ОС), что, хотя и увеличивает точность измеряемых величин, в
значительной степени замедляет работу СЗМ.