Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
РАСЧЕТ ЛОКАЛЬНОГО ЛАЗЕРНОГО ОКИСЛЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
УДК: 544.032.65
Аннотация:
Термохимическое действие лазерного излучения на тонкие пленки является основой
целого ряда технологических процессов формирования пленочных элементов и структур в
оптике, микроэлектронике, информационных системах и т.п. В последние годы интерес к
этому направлению возрос вследствие ужесточения требований к разрешающей способности
и размерам получаемых элементов.