Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
АНАЛИЗ ПРОЦЕССА ОКИСЛЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ УЛЬТРАКОРОТКИХ ЛАЗЕРНЫХ ИМПУЛЬСОВ
УДК: 538.95
Аннотация:
Модель лазерного окисления разработана еще в 1970-е гг., до появления лазеров,
способных генерировать ультракороткие импульсы [1]. Эта модель основана на вагнеровском
законе, учитывающем рост окисла только на поверхности. Согласно модели поверхностного
окисления, воздействие ультракоротких лазерных импульсов не должно инициировать рост
окисной пленки на поверхности металлов [2]. Однако, в экспериментах [3] было показано
окисление металлических пленок при воздействии, как серии ультракоротких лазерных
импульсов, так и одиночных импульсов. Поэтому появилась необходимость более детального
изучения механизмов окисления ультракороткими лазерными импульсами. Выяснение
механизма окисления металлических пленок под действием лазерного излучения позволит
более эффективно использовать лазерный термохимический метод на производстве, и в
частности усовершенствовать технологии изготовления дифракционных оптических
элементов, увеличив их разрешающую способность.
Цель исследования – выяснение механизма окисления тонких металлических пленок
под действием ультракоротких лазерных импульсов.