Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ СКАНЕРА В СОСТАВЕ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА
УДК: 681.2-5
Аннотация:
Для того чтобы удовлетворять растущие потребности в проведении экспериментов в
нанотехнологиях, необходимо в первую очередь развивать основной инструмент в
нанотехнологиях – сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ). Одной из неотъемлемой
составной частей является сканер, который представляет из себя три пьезокерамических
движителей, позволяющие с высокой точностью перемещать по трем координатам образец,
закрепленный на нем. Пьезокерамика обладает большим количеством нелинейностей,
влияющих на точность перемещений, таких как крип, гистерезис, тепловые расширения,
краевые эффекты.