Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
ИССЛЕДОВАНИЕ СЛОЕВ (In)GaPN(As), ВЫРАЩЕННЫХ НА ПОДЛОЖКАХ GaP МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНО-ПУЧКОВОЙ ЭПИТАКСИИ
УДК: 539.958
Аннотация:
Применение монолитных оптоэлектронных интегральных схем (МОЭИС) позволяет
изготавливать более компактные оптические системы (по сравнению с системами на основе
дискретных оптических компонентов), а также предоставляет возможность их интеграции с
электронными схемами для миниатюризации многофункциональных оптико-электронных
систем и приборов. В настоящее время МОЭИС реализованы в системе материалов A3B5
[1, 2]. Реализация МОЭИС на основе кремния кардинально увеличит функциональность
кремневой микроэлектроники и откроет совершенно новые области ее применения.
Кремний, наиболее широко-распространенный полупроводниковый материал, имеет
непрямую структуру энергетических зон, что делает получение светоизлучающих приборов
на кремнии чрезвычайно сложной задачей.