Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА И МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИСХОДНОГО МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ И УСЛОВИЙ ТРАВЛЕНИЯ НА ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ НАНОПОРИСТОГО КРЕМНИЯ
УДК: 621.315.594
Аннотация:
Предыдущие исследования образования слоев нанопористого кремния (НК) в ходе
электролитического травления в растворах фтористоводородной кислоты позволили
сформулировать несколько теорий возможного образования слоев НК. Данные теории в
большей или меньшей степени рассматривали химический аспект взаимодействий ионов в
растворе с монокристаллическим кремнием, ведущие к образованию пористого слоя.
Основной упор при этом делался на формирование самого массива слоя НК. При этом
вопрос, связанный с начальной стадией процесса зарождения пор оставался открытым. В
основном этот аспект был сведен к случайному зарождению пор так или иначе связанных с
различными поверхностными дефектами. Однако такой подход оставляет слишком большую
неопределенность в этом вопросе.
Таким образом, целью исследований было изучение влияния различных факторов на
процесс зарождения наноразмерных пор в кремнии в ходе электролитического травления.