Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Сенсоры и сенсорные сети
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Газовые сенсоры и сенсорные микросистемы на наноструктурированных металлооксидных пленках
УДК: 621.317.39.084.2
Аннотация:
Разработана технология формирования газового сенсора и двухсенсорной газовой микросистемы на диэлектрической подложке из анодного оксида алюминия. Исследованы отклики изготовленной микросистемы к газам CO, C3H8 и NO2. Полученные результаты подтвердили высокую эффективность работоспособности и возможность снижения энергопотребления полупроводниковых сенсоров и сенсорных микросистем.