Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ОПТИЧЕСКИЕ И КВАНТОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЕРЕДАЧИ, ЗАПИСИ И ОБРАБОТКИ ИНФОРМАЦИИ
КОНТАКТНАЯ СУБВОЛНОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ
УДК: 535.015
Аннотация:
В современном мире уменьшение размеров имеет все большую актуальность.
Современная интегральная схема с каждым годом содержит все большее количество
элементов, соответственно каждый отдельный элемент с каждым годом уменьшается в
размерах. Наиболее распространенной и удобной технологией изготовления интегральных
схем является литография.