Сборники тезисов • Фотоника, наноматериалы и оптотехника • Оптотехника и оптические материалы
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Разработка и исследование дифракционного метода для измерения размеров объекта
УДК: 681. 786
Аннотация:
В предложенном методе используется особенность дифракции Френеля при освещении объекта сферической волной, которая заключается в том, что поперечное смещение объекта относительно центра кривизны волнового фронта приводит к сдвигу дифракционной картины, который в несколько раз превышается сдвиг объекта. Полученные результаты позволяют говорить о возможности создания измерителей линейных перемещений. Была предложена функциональная схема измерителя размеров объекта, также была предложена схема координаторметра струнного отвеса. Проведенный эксперимент показал хорошее соответствие с результатами моделирования. Был получен график зависимости погрешностей измерения от величины смещения объекта, анализ которого показал, что предельная погрешность измерения смещения составила порядка 1.3 мкм. Это значение не превышает расчетного значения предельной погрешности измерения предложенным методом, которое составляет 1.4 мкм.