Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
СРАВНИТЕЛЬНЫЙ ОБЗОР ХАРАКТЕРИСТИК СОВРЕМЕННЫХ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ
УДК: 681.785.35
Аннотация:
В настоящее время эллипсометрические технологии измерений, использующие
свойства поляризованного излучения, распространяются во многие области науки благодаря
точности метода, его универсальности, неразрушающему воздействию. Сегодня встала
острая необходимость проводить исследования по этой теме, чтобы в дальнейшем
совершенствовать приборы для эллипсометрических измерений, уменьшать их габариты,
улучшать метрологические характеристики и адаптировать к различным условиям работы.
В связи с этим целью работы были анализ и сравнение технических характеристик
современных эллипсометрических приборов для выявления их достоинств и недостатков, а
также для выработки в дальнейшем рекомендаций по улучшению метрологических
характеристик поляризационных установок для высокоточного контроля.