Сборники тезисов • Информационные и интеллектуальные системы и технологии • Информационные технологии
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2016.
Адаптивные системы перемещений для юстировки оптических элементов фотолитографического объектива
УДК: 62-83
Аннотация:
Рассмотрена разработка системы перемещений для юстировки оптических элементов фотолитографического оборудования, построенных на реконфигурируемых механизмах параллельной кинематики и кольцевом приводе прямого действия с автономно управляемыми сегментами, которая может быть также использована как координатная система позиционирования, совмещения и сканирования в сборочном и другом прецизионном оборудовании.