Сборники тезисов • Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Выпуск 2 • ОПТОТЕХНИКА И ОПТИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ
ОСОБЕННОСТИ ВЫЧИСЛЕНИЯ КОМПЛЕКСНОЙ АМПЛИТУДЫ ОБЪЕКТНОЙ ВОЛНЫ ПРИ СИНТЕЗЕ ГОЛОГРАММ «СФОКУСИРОВАННОГО» ИЗОБРАЖЕНИЯ
УДК: 535.421
Аннотация:
Применение систем с синтезированными голограммами-проекторами
«сфокусированного» изображения является перспективным направлением развития
традиционной проекционной фотолитографии, так как позволяет восстанавливать
теоретически безаберационное изображение исходного объекта, при относительно большом
поле экспонирования, с минимальным характеристическим размером элемента равным длине
волны, т.е. на дифракционном пределе. Кроме того в таких системах вместо традиционных
сложных и дорогих проекционных объективов могут применяться простые и недорогие
оптические системы, строящие изображение низкого качества.
Обозначенные выше достоинства, а также отсутствие успешных попыток синтеза таких
голограмм-проекторов, обуславливают постановку данной работы, целью которой была
разработка метода синтеза голограмм-проекторов «сфокусированного» изображения для
проекционной фотолитографии. Одной из важных задач, которые необходимо решить для
достижения данной цели была разработка метода расчета комплексной амплитуды объектной
волны в плоскости голограммы.