Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2015.
Формирование каналов пикосекундными импульсами в стекле при лазерном отжиге с последующим химическим травлением
УДК: 538.911, 53.096
Аннотация:
Одной из наиболее интенсивно развивающихся областей применения стекол и стеклообразных материалов с использованием лазерных технологий является микрофлюидика. Цель работы – формирование полых микроканалов путем химического травления областей кристаллизации, предварительно созданных в объеме ФС при лазерной обработке. В ходе работы были поставлены следующие задачи: определить возможность применения данного метода для изготовления микроканалов, а также оценить скорости химического травления кристаллической и аморфной фаз. В работе применялся способ лазерно-индуцированной кристаллизации в объеме плоскопараллельных пластин ФС толщиной 1.2 мм. Один из основных этапов работы - химическое травление. Травление образцов проводилось в 10% растворе плавиковой кислоты (HF).