Сборники тезисов • Инженерные системы и приборостроение • Фундаментальные основы лазерных микро- и нанотехнологий
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2015.
Рекомбинационные процессы при многоимпульсном фемтосекундном облучении кремния
УДК: 621.373.535
Аннотация:
Представлены к обсуждению результаты численного моделирования многоимпульсного фемтосекундного облучения кремния в режимах образования поверхностных периодических структур. Исследовано влияние рекомбинационных процессов, в том числе Оже-рекомбинации и безизлучательной рекомбинации на изменение температуры кремния между импульсами. Проведено сравнение вклада рекомбинационных процессов с вкладом эффектов накопления тепла в изменение максимальной температуры нагрева поверхности кремния.