Сборники тезисов • Естественные науки • Физика твёрдого тела и материаловедение
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2015.
Постобработка СЗМ-изображений, решением обратной задачи функции сканера
УДК: 681.2-5
Аннотация:
При проведении исследований топологии поверхности с использованием сканирующих зондовых микроскопов возникают явления, искажающие топологию поверхности. В работе проведено исследование аппаратной функции пьезокерамического сканера, вносящего искажения и предложены способы их устранения.