Сборники тезисов • Фотоника, наноматериалы и оптотехника • Оптотехника и оптические материалы
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2015.
Разработка алгоритма оптимизации источника освещения фотолитографической установки
УДК: 535.317
Аннотация:
Выполнена разработка алгоритма оптимизации источника освещения фотолитографической установки и нахождение «эффективного» источника, который представляет собой распределение яркости в выходном зрачке осветительной системы. Выполнен подбор наилучших параметров оптической системы.