Сборники тезисов • Фотоника, наноматериалы и оптотехника • Оптотехника и оптические материалы
Сборник тезисов докладов конгресса молодых ученых. Электронное издание. – СПб: Университет ИТМО, 2015.
Контроль угловых и линейных величин многоапертурным дифракционным интерферометром
УДК: 531.7.082.5:535.42/44
Аннотация:
Рассмотрены компактные дифракционные схемы контроля малых угловых и линейных перемещений, обладающие высокой чувствительностью и простотой реализации. Получена математическая модель схем, описывающая двумерное распределение интенсивности излучения в плоскости приемника. Разработана методика расчета конструктивных параметров дифракционного автоколлиматора. Показано, что дифракционный автоколлиматор может иметь большую компактность и диапазон измерений по сравнению с фотоэлектрическими. Полученные теоретические результаты подтверждены на макетах, собранных в лаборатории ТУ Ильменау. Достигнутые погрешности схем в ходе экспериментов составили 2,5" и 2 мкм.